効果

・砥粒を均一に分散・コントロールし、凝集を防ぐ。

・適度な潤滑性により、ウェーハ割れ・欠けの発生を防ぐ。

・砥粒の固着を防止し、加工後の洗浄を軽減する。

・加工レート及び表面粗さの改善。

・機械設備の防錆。

 

性状

原液の一般性状

試験項目	試験方法	ヴァニラップベース
		No.162	No.169
外観		淡黄色	濃黄色
引火点　℃	JIS　K2265	なし	なし
密度　ｇ/㎤	JIS　K2249	1.145	1.135

5％希釈液の一般性状

試験項目	試験方法	ヴァニラップベース
		No.162	No.169
pH (@25℃）	JIS Z8802	8.83	12.31
表面張力　mN/m	JIS K2241	30.1	30.8
耐荷重試験　MPa	JIS K2519	1.470	1.274
摩擦係数　μ	振り子式	0.1216	0.1308
洗浄性試験　％	ヴァーデン式	60	70
浸透性試験　秒	ヴァーデン式	98	78

 

分散性比較

◆光学顕微鏡　～×100

 

 

 

 

 

【実験方法】

１．酸化セリウムスラリーにてガラス基盤をポリッシング加工

２．超音波バスにて３％希釈した洗浄剤の液中に２分間Dip

３．超音波バスにて純水中に２分間Dip

４．スピン乾燥

５．MicroMaxにより撮影、CandelaによりParticleカウントの測定

 

Candela Mapping, Mibromax Images

◆分散剤なし

 

 

 

 

 

◆分散剤あり

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

加工後の基盤に対する砥粒固着を計測。

分散剤を使用しない場合、一面に残渣となったが、分散剤を使用した場合は洗浄され易く、残渣が少ない。

 

研磨特性試験

分散剤なし

 

 

 

 

ヴァニラップベースNo.162

 

 

 

 

他社品

 

 

 

 

研磨特性結果